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真空鍍膜技術(shù)是一種在真空條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(如金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面以形成薄膜的方法。以下是其工作原理和特點(diǎn):
工作原理:
真空鍍膜技術(shù)依賴于膜體在高溫下的蒸發(fā),并在工件表面結(jié)晶的過程。由于空氣對蒸發(fā)的薄膜分子會產(chǎn)生阻力,形成碰撞,使得晶體變得粗糙無光澤,因此,這一過程需要在高真空條件下進(jìn)行,以確保晶體能夠細(xì)膩、光亮。現(xiàn)在的一些技術(shù),如中頻磁控濺射靶,通過在電場作用下加速薄膜的蒸發(fā)分子轟擊靶材,濺射出大量的靶原子,中性靶原子(或分子)堆積在基板上形成薄膜,這種方法可以加工過去不能用自然蒸發(fā)處理的薄膜類型,如鍍鈦、鍍鋯等。
主要特點(diǎn):
成膜溫度低:與常規(guī)鍍膜工藝如熱鍍鋅相比,真空鍍膜的溫度可以降至常溫,從而避免了高溫引起的被鍍件變形、變質(zhì)等問題。
蒸發(fā)源選擇自由度大:真空鍍膜技術(shù)不受材料熔點(diǎn)的限制,可以選擇多種鍍膜材料,包括金屬氮化膜、金屬氧化膜、金屬炭化物及各種復(fù)合膜。
環(huán)保:該技術(shù)不使用有害氣體或液體,對環(huán)境沒有不利影響,符合當(dāng)前環(huán)保趨勢。
鍍膜質(zhì)量好:真空鍍膜可以獲得均勻、平滑且極薄的鍍膜,其純度高,耐蝕性和附著力好,不存在熱鍍鋅中的漏鍍點(diǎn)、鋅浪、鋅花等問題。
工藝靈活:真空鍍膜技術(shù)可以應(yīng)用于單面、雙面以及單層、多層和混合層的鍍膜,并且鍍膜厚度易于控制。
綜上所述,真空鍍膜技術(shù)因其獨(dú)特的原理和特點(diǎn),在工業(yè)生產(chǎn)過程中具有廣泛的應(yīng)用,包括耐酸、耐蝕、耐熱、表面硬化、裝飾、潤滑、光電通訊、電子集成、能源等領(lǐng)域。隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,相關(guān)的鍍膜裝置、薄膜工藝技術(shù)和自動(dòng)化控制技術(shù)也在不斷改進(jìn)與完善,以提高生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量和科研水平。
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