一、開(kāi)機(jī)要先檢查水路的暢通性,確定冷卻塔、真空泵是否正常工作,檢查氣路是否暢通,確定空壓機(jī)是否正常工作。

二、要確定真空室內(nèi)的膜料、離子源燈絲、工件架是否按要求放置。

三、工藝完成后要關(guān)閉電子槍和離子源等開(kāi)關(guān),待真空鍍膜設(shè)備冷卻一消失后方可關(guān)閉電源。

四、未經(jīng)允許不可開(kāi)店電柜、真空室的屏蔽門。